洁净厂房
采用模块化设计,可以根据不同生产规模和产品进行灵活搭配,如百级洁净车间和千级洁净车间可以分别按500平方米的模块增加至3000平方米,千级洁净车间可升级至百级。流片间黄光区采用高抗微震设计,包括采用16.5米木桩、2300毫米厚度钢筋混凝土、350毫米钢板混凝土设备承台、850毫米铝合金高架地板、分区抗震沟等措施。
采用模块化设计,可以根据不同生产规模和产品进行灵活搭配,如百级洁净车间和千级洁净车间可以分别按500平方米的模块增加至3000平方米,千级洁净车间可升级至百级。流片间黄光区采用高抗微震设计,包括采用16.5米木桩、2300毫米厚度钢筋混凝土、350毫米钢板混凝土设备承台、850毫米铝合金高架地板、分区抗震沟等措施。